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尼康Nikon CNC自动影像测量仪 VMZ-S系列

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产品品牌：日本尼康

库存情况：有库存

参考价格：1000000.00

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Nikon新开发的高精度、高速量测及高NA的CNC影像量测仪VMZ-R Series，不只在精度上再升级，在Ｚ轴的量测高度上也做了提升，让产品的量测拥有更高的多元性。
●新雷射系统
除原有影像对焦及雷射对焦、扫描等功能，新的雷射感应器也可量测膜的表面及底部，进而测量膜厚。
●创新光源设计
表面光、底部光及环型光皆采用LED的設計，光源更稳定且寿命更長。
环型光源有三种不同照射角度且八方向的设计，让边界的量测更加简易。

概述

高精度/高速/高易用性
放大倍率、自动聚焦以及照明环境都可以被良好的调整应用于不同的样品。适用于测量诸如机械、电子、汽车以及医疗设备产品的小尺寸部件。

适于高精度测量的精密光学设计

新增两项与视场内测量精度相关的评判指标（PF2D、PFV2D）。尼康设计的光学系统提供了高质量的图像以及实现高精度的测试数据。
二维探测误差* PF2D0.8μm
* 按照尼康公司规定的测量方法进行测评。测量条件：使用 2 型光学变焦头，光学 15×，跨视窗测量，25 点圆周均布采样，每个视窗内采 1 点。
影像测头探测误差* PFV2D0.3μm
* 按照尼康公司规定的测量方法进行测评。测量条件：使用 2 型光学变焦头，光学 15×，视窗内测量，25 点采样。

高密度电路板上的布线
（2 型光学变焦头、光学 15×）
优良的消畸变设计，充分保证视窗内各处尺寸测量的准确性。

提高测量效率
通过实现更快的短距离平台移动，生产力得到了提高。这有助于缩短测量时间。

* 测量对象：25×25 矩阵排列，间距 X=Y=0.2mm，直径 ø50 μm 的 625 个圆。
测量条件：把载物台移动速度调到z大，使用完全相同的测量程序进行测量。

新设计
在外观设计改变的同时，用于载物台和光学头移动的操纵杆也进行了重新设计，使操作更加简便，长时间使用也不会感到疲惫。

六种光学变倍镜头
标准放大变倍镜头：类型1，2，3
类型1，2，3具有尼康15倍长工作距离光学镜头，同时具有大视野和较高的数值孔径0.35。集成LED反射光和LED透射光源，与此同时配置3种入射角的LED8段环形光源。

高放大倍率镜头：类型4和类型TZ
类型4和类型TZ分辨有着15X和120X的光学变倍以。有着更高的放大倍率以及更高的数值孔径0.46。类型4依然配置LED反射以及透射照明器。并依然配备50°入射角的8段LED环形照明。类型TZ拥有LED反射、透射（针对更高倍率优化）以及暗场照明器。

大视野变倍镜头：类型A
类型A，尼康10倍光学变倍，具有大的视野，长的工作距离以及高的数值孔径0.11.类型A配备LED反射、透射照明器。配备18°入射角的8段环形照明器。

倍率和视野（mm）
标准放大变倍镜头

类型 1
光学放大倍率	0.5×	1×	2×	4×	7.5×
总放大倍率	18×	36×	72×	144×	270×
视野 (mm)	9.33 × 7.01	4.7 × 3.5	2.33 × 1.75	1.165 × 0.875	0.622 × 0.467

类型2
光学放大倍率	1×	2×	4×	8×	15×
总放大倍率	36×	72×	144×	288×	540×
视野(mm)	4.7 × 3.5	2.33 × 1.75	1.165 × 0.875	0.582 × 0.437	0.311 × 0.233

类型 3
光学放大倍率	2×	4×	8×	16×	30×
总放大倍率	72×	144×	288×	576×	1080×
视野(mm)	2.33 × 1.75	1.165 × 0.875	0.582 × 0.437	0.291 × 0.218	0.155 × 0.117

高倍率变倍镜头

类型4
光学放大倍率	4×	8×	16×	32×	60×
总放大倍率	144×	288×	576×	1152×	2160×
视野(mm)	1.165 × 0.875	0.582 × 0.437	0.291 × 0.218	0.146 × 0.109	0.07 × 0.068

类型TZ
光学放大倍率	1×	2×	4×	7.5×	16×	32×	64×	120×
总放大倍率	36×	72×	144×	270×	576×	1152×	2304×	4320×
视野 (mm)	4.7 × 3.5	2.33 × 1.75	1.165× 0.875	0.622 × 0.467	0.291 × 0.218	0.146 × 0.109	0.073 × 0.055	0.039 × 0.029

大视野变倍镜头

类型A
光学放大倍率	0.35×	0.6×	1×	1.8×	3.5×
总放大倍率	12.6×	21.6×	36×	64.8×	126×
视野 (mm)	13.3 × 10	7.8 × 5.8	4.7 × 3.5	2.6 × 1.9	1.33 × 1

*综合倍率是指将24英寸TFT显示器设定为WUXGA（1920×1200像素）模式时显示器上的倍率。

0.1mm透明层检测
被设计用于检测透明薄膜材料的表面，同轴激光提供高速度以及高精度的自动对焦。
*不提供给类型A镜头

8段环形光照明器
标准放大变倍镜头（类型1-3）配置8段Led内外环形照明器，与此同时支持反射光和透射光照明器。光源强度可以通过改变8段LED环形照明器的照射角度来进行轻松调整。
*类型4的8段环形照明器的照射角度角度是50°，类型A是18°。

15x快速变倍
基于15倍变倍比下5段速度高速变倍系统实现兼顾低倍率下的大视野以及高倍率下的高分辨率检测（可供类型1，2，3，4镜头）

型号	VMZ-S3020	VMZ-S4540		VMZ-S6555
XYZ行程	300x200x250mm*类型TZ配置低倍放大镜头：250x200x200mm	450x400x200mm*类型TZ配置低倍放大镜头：400x400x200		650x550x200mm*类型TZ配置低倍放大镜头：600x550x200
读数	≥0.01μm
样品质量	20kg（精度保证：5kg）	40kg（保证精度20kg）		50kg（保证精度30kg）
允许误差（L：长度mm）	EUX,MPE EUY,MPE ≤1.2 + 4L/1000 μm EUXY,MPE ≤2.0 + 4L/1000 μm EUZ,MPE ≤1.2 + L/1000 μm
	探测误差1),2):MPE PF2D0.8μm 影像探头探测误差1),2):MPE PFV2D0.3μm
工作距离	类型1，2和3	类型4	类型TZ		类型A
	50mm	30mm	（高倍率）11mm/（低倍）32mm		73.5mm（加激光自动对焦的工作距离是63mm）
相机	黑白/彩色1/3CMOS相机
自动聚焦	激光自动对焦（可选类型A）/影像自动聚焦
激光自动聚焦重复性范围1),3)	2σ ≤ 0.5 μm
照明	类型1，2，3和4：反射、透射以及8段3角度环形皆配置白光LED/类型4仅仅支持一个入射角。类型TZ：左物镜：反射，暗场；右物镜：反射，透射，暗场。类型A：反射光，透射光，以及8段单角度环形以上皆配置白光LED。
电源/电源功耗	AC 100V-240V，50/60Hz/4A-2A
外形尺寸&质量	主体含平台（宽X长X高）：700X730X1793mm/约265kg 控制器：190X450X450mm/约12kg	主体含平台（宽X长X高）：1000x1340x1818mm/约510kg 控制器：190x450x450mm/约12kg		主体含平台（宽X长X高）：1200x1640x1818mm/约740kg 控制器：190x450x450mm/约12kg
占地面积（宽x长4））	2700x2400mm	3000x3000mm		3200x3300mm

1）由尼康内部测量方法确定
2）配置类型2镜头，15X
3）配件：镀铬校准板，除了类型A镜头
4）包括设备维护空间

尺寸

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型号：

VMZ-S3020

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公司名称:	青岛纬斯康电子有限公司
服务热线:	0532-58771158
电子邮箱:	wsk@wisecom-tech.com
传真:	0532-58771158
公司地址:	青岛市市北区黑龙江南路2号万科中心C座1622室

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